麻蒔 立男/著 -- ソフトバンククリエイティブ -- 2010.9 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
中央 一般 Map /549.8/ア/ 0113144737 一般 利用可
長島 一技 Map /549.8/ア/ 0610581662 一般 利用可

資料詳細

タイトル 「薄膜」のキホン
副書名 原子に迫る超微細・超高密度の世界
著者 麻蒔 立男 /著  
叢書名 イチバンやさしい理工系
出版者 ソフトバンククリエイティブ
出版年 2010.9
ページ数 190p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類(8版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
ISBN13桁 978-4-7973-5713-4
定価 ¥1500
内容紹介 薄膜技術の注目ポイントをやさししく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界がみえてくるのかを紹介する。